Қысым сенсорлары әртүрлі қолданбаларда қысымды дәл және сенімді өлшеу мүмкіндігін қамтамасыз ететін көптеген салаларда маңызды құрамдас болып табылады.Соңғы жылдары танымал болған қысым сенсорының бір түрі - 1965 жылы Калифорния технологиялық институты алғаш рет жасаған шыны микробалқыма сенсоры.
Шыны микробалқыма сенсорында 17-4PH төмен көміртекті болат қуысының артқы жағына агломерацияланған жоғары температуралы шыны ұнтағы бар, қуыстың өзі 17-4PH баспайтын болаттан жасалған.Бұл дизайн жоғары қысымды шамадан тыс жүктеуге және кенеттен қысым соққыларына тиімді қарсылыққа мүмкіндік береді.Оған қоса, ол май немесе оқшаулау диафрагмаларын қажет етпей-ақ, аз мөлшерде қоспалары бар сұйықтықтарды өлшей алады.Тот баспайтын болаттан жасалған конструкция тығыздағыш сақиналардың қажеттілігін жояды, бұл температураның шығу қаупін азайтады.Датчик жоғары қысым жағдайында 600МПа (6000 бар) дейін өлшей алады, ең жоғары дәлдігі 0,075%.
Дегенмен, шыны микробалқыма сенсорымен шағын диапазондарды өлшеу қиын болуы мүмкін және ол әдетте тек 500 кПа жоғары диапазондарды өлшеу үшін қолданылады.Жоғары кернеу мен жоғары дәлдікті өлшеу қажет қолданбаларда сенсор дәстүрлі диффузиялық кремний қысым датчиктерін одан да жоғары тиімділікпен алмастыра алады.
MEMS (микро-электро-механикалық жүйелер) технологиясына негізделген қысым сенсорлары - соңғы жылдары танымал болған сенсордың тағы бір түрі.Бұл сенсорлар микро/нанометрлік өлшемді кремний тензометрлер арқылы жасалады, олар жоғары шығыс сезімталдығын, тұрақты өнімділікті, сенімді сериялық өндірісті және жақсы қайталану мүмкіндігін ұсынады.
Шыны микробалқыма сенсоры алдыңғы қатарлы технологияны пайдаланады, онда кремний деформациясы өлшегіш әйнек 500℃ жоғары температурада ерігеннен кейін 17-4PH тот баспайтын болаттан жасалған серпімді корпусқа біріктіріледі.Серпімді дене сығымдау деформациясына ұшыраған кезде ол микропроцессормен цифрлық компенсациялық күшейту тізбегі арқылы күшейтілетін электрлік сигнал жасайды.Содан кейін шығыс сигналы сандық бағдарламалық құрал арқылы интеллектуалды температура компенсациясына жатады.Стандартты тазарту өндірісі кезінде температураның, ылғалдылықтың және механикалық шаршаудың әсерін болдырмау үшін параметрлер қатаң бақыланады.Датчиктің жоғары жиілікті реакциясы және жұмыс температурасының кең диапазоны бар, бұл қатал өндірістік ортада ұзақ мерзімді тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Температураның интеллектуалды компенсация тізбегі температуралық өзгерістерді бірнеше бірлікке бөледі және компенсация тізбегіне әрбір бірлік үшін нөлдік позиция мен өтемақы мәні жазылады.Қолдану кезінде бұл мәндер температура әсер ететін аналогтық шығыс жолына жазылады, әрбір температура нүктесі таратқыштың «калибрлеу температурасы» болып табылады.Датчиктің сандық тізбегі жиілік, электромагниттік кедергі және кернеудің жоғарылауы сияқты факторларды өңдеу үшін мұқият әзірленген, күшті кедергіге қарсы қабілеті, кең қуат беру диапазоны және полярлық қорғанысы бар.
Шыны микробалқыма сенсорының қысым камерасы импорттық 17-4PH баспайтын болаттан жасалған, тығыздағыш сақиналары, дәнекерленген жерлері немесе ағып кетуі жоқ.Датчиктің шамадан тыс жүктеме сыйымдылығы 300% FS және ақаулық қысымы 500% FS бар, бұл оны жоғары қысымды шамадан тыс жүктеу қолданбалары үшін өте қолайлы етеді.Гидравликалық жүйелерде пайда болуы мүмкін кенет қысым соққыларынан қорғау үшін сенсорда орнатылған демпферлік қорғаныс құрылғысы бар.Ол ауыр өнеркәсіпте кеңінен қолданылады, мысалы, машина жасау, станок жасау өнеркәсібі, металлургия, химия өнеркәсібі, электр энергетикасы, жоғары таза газ, сутегі қысымын өлшеу және ауыл шаруашылығы машиналары.
Жіберу уақыты: 19 сәуір 2023 ж